平面產品
材 料 |
加工參數 | 加工精度 | ||
| 一般精度 | 中級 精度 | 定制精度 | ||
硅 鍺 玻璃 石英玻璃 微晶等 | 1.厚度公差 | ±0.2mm | ±0.1mm | ±0.02mm |
| 2.外徑公差 | ±0.5mm | ±0.1mm | ±0.02mm | |
| 3.平行度 | 3′ | 1′ | 5″ | |
| 4.面型精度（ PV ） | 1λ | λ/4 | λ/20 | |
| 5.光潔度 | 60/40 | 20/10 | 5/1 | |
| 6.通光孔徑 | ＞95% | ＞95% | ＞95% | |
| 7.表面粗糙度 | / | RMS＜1nm | RMS＜0.4nm | |
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